由開山上海通用(yong)機(ji)械研(yan)究院自主研(yan)發(fa)的離心式(shi)雙(shuang)介質(zhi)氣體組合壓縮機(ji)日(ri)前在江蘇(su)某全(quan)球領(ling)先的集成(cheng)電路制造(zao)企業順利完成(cheng)調試并投入使用(yong)，各項參數達到設(she)計要求，獲得用(yong)戶(hu)好評。
眾(zhong)所周知，半(ban)導(dao)體(ti)行業八大核心材(cai)(cai)料(liao)(liao)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)，電(dian)子氣(qi)體(ti)是(shi)僅次(ci)于硅(gui)的(de)(de)主要原(yuan)材(cai)(cai)料(liao)(liao)，其(qi)在半(ban)導(dao)體(ti)晶圓制(zhi)造材(cai)(cai)料(liao)(liao)價值中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)占比為13.5%。電(dian)子氣(qi)體(ti)在電(dian)子產(chan)品(pin)制(zhi)造工(gong)藝中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)廣泛應用于離子注入(ru)、刻蝕(shi)、氣(qi)相、沉積(ji)、摻(chan)雜等工(gong)藝，被稱為集成電(dian)路、液(ye)晶面(mian)板、LED及光伏等材(cai)(cai)料(liao)(liao)的(de)(de)“糧食”和“源”。電(dian)子半(ban)導(dao)體(ti)器件的(de)(de)性能優劣與電(dian)子氣(qi)體(ti)的(de)(de)質量(liang)息(xi)息(xi)相關，而高(gao)純度/超高(gao)純度氮是(shi)電(dian)子氣(qi)體(ti)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)極其(qi)重(zhong)要的(de)(de)成員之一(yi)，其(qi)在惰性保護、載氣(qi)、特(te)種(zhong)氣(qi)體(ti)、管道吹掃排氣(qi)、稀釋、等離子注入(ru)等半(ban)導(dao)體(ti)生產(chan)工(gong)藝環節中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)都(dou)是(shi)不(bu)可或缺的(de)(de)原(yuan)料(liao)(liao)氣(qi)和工(gong)藝氣(qi)。而離心式雙介質氣(qi)體(ti)組合壓(ya)縮(suo)(suo)機組則是(shi)高(gao)純氮生產(chan)工(gong)藝中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)核心裝備(bei)。長(chang)期以來(lai)其(qi)該類型壓(ya)縮(suo)(suo)機市場一(yi)直由美國企業所壟斷。
本次(ci)成功投(tou)運(yun)的(de)機(ji)組是開山制(zhi)造(zao)、完(wan)全(quan)自主知識產權的(de)國產首臺(tai)套該(gai)類(lei)型(xing)壓縮機(ji)，其使用于一(yi)世界(jie)500強國際知名氣體公(gong)司(si)的(de)制(zhi)氮系統(tong)之(zhi)中，這也是這家企業首次(ci)與(yu)中國壓縮機(ji)廠(chang)商進行合作。本次(ci)投(tou)運(yun)成功，極(ji)大(da)的(de)提升了該(gai)公(gong)司(si)高(gao)純氮制(zhi)備(bei)系統(tong)的(de)市場競爭(zheng)力。這是雙方(fang)四年(nian)共同努力的(de)結果。
與此同時，兩套運用于(yu)國產高純(chun)氮(dan)制(zhi)備系統(tong)的該(gai)類型壓縮(suo)機調試工作也已(yi)收尾，各項參數達到(dao)設計(ji)需(xu)求，甚至部分(fen)參數超越了(le)設計(ji)需(xu)求.
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過(guo)去二(er)十年(nian)里，開山持續在核(he)心(xin)技(ji)(ji)術(shu)(shu)上進行大(da)強度(du)投入，逐步在螺桿、透(tou)平、往復(fu)等各類(lei)型壓(ya)(ya)縮機(ji)、膨(peng)脹機(ji)、真空泵等諸多領域構建起(qi)一(yi)定技(ji)(ji)術(shu)(shu)優勢(shi)。在目前“國產(chan)(chan)化”需求日益高漲的(de)(de)(de)背景之下，這種技(ji)(ji)術(shu)(shu)優勢(shi)使得我們的(de)(de)(de)中(zhong)國用戶不(bu)(bu)僅不(bu)(bu)會因(yin)“國產(chan)(chan)化”去犧牲(sheng)所需設備(bei)的(de)(de)(de)品(pin)質，反而“國產(chan)(chan)化”后(hou)獲得了(le)更可靠的(de)(de)(de)產(chan)(chan)品(pin)質量和更低的(de)(de)(de)能源消耗。而對于(yu)我們的(de)(de)(de)國際用戶則(ze)是(shi)(shi)發現以開山為(wei)代表的(de)(de)(de)中(zhong)國裝備(bei)為(wei)他們帶來(lai)了(le)更大(da)的(de)(de)(de)獲益。本次(ci)離(li)心(xin)式(shi)雙(shuang)介質氣體組合(he)壓(ya)(ya)縮機(ji)的(de)(de)(de)投運(yun)成功只是(shi)(shi)前述文(wen)字一(yi)個小小的(de)(de)(de)例證吧。